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石英坩埚的现状及背景

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石英坩埚的现状及背景

发布日期:2015-01-04 00:00 来源: 点击:

      早期的坩埚是全透明的,这种全透明的结构容易引起不均匀的热传输条件。增加晶棒生长的难度所以这种坩埚几乎遭到淘汰。  现代的坩埚通常使用电弧法生产,半透明状,存在有内外两层结构,外层是高气泡密度的区域,称为气泡复合层;内层是一层3~5mm的透明层,称为气泡空泛层。气泡空乏层的目的在于坩埚与溶液接触区的气泡密度,从而改善单晶生长的成功率及晶棒品质。  为提高坩埚的使用寿命,出现了一种涂钡工艺,将石英坩埚的内壁上涂一层含有结晶水的氢氧化钡饱和水溶液。这层溶液将与空气中的二氧化碳反应形成碳酸钡。当石英坩埚被加热时,碳酸钡将会被分解形成氧化钡,与石英坩埚反应生成硅酸钡,而这些硅酸钡又作为晶核而形成方石英结晶。微小的方石英很难被溶液浸入而剥落。这样可以大幅度提高石英坩埚的寿命,增加石英坩埚的强度,减少高温软化。

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